ULSIにおける汚染の実態 本 初版 Realize リアライズ 理工センター

本の説明です
Amazonより

リアライズ理工センター
1999/7/28発売
475ページ


LSIの微細化が進む中, 汚染の低減は半導体製造の最大課題の一つであり, その解決には多くの努力が必要になってきた。このためにはシリコンウェーハなどの材料, 製造, または検査設備, ファシリティなど供給系にも汚染の低減が要求され, デバイスメーカと供給メーカが協力して低減に向かわなければならないが, 汚染に対する仕様はデバイスメーカ, またはその技術者によりまちまちで供給メーカの設計をどうするか困惑している状況である。このような状況ではデバイスメーカ間で共通の仕様を提示することが経済的にLSIを製造するポイントであるが, 現状ではデバイスメーカも見解が定まらない状況にある。 このようなことからデバイスメーカが汚染をどのように考えているか, 実際の問題は何か, 汚染の許容量・仕様をどうするかという調査が本書のテーマである。この調査は計4回の汚染シリーズセミナーとそのときのパネルディスカッションで行ったが, 実際にはいくつかのグループで議論し, できるだけ共通の問題と捉えて検討を行った。この調査を通してわかったことはデバイスメーカでも完全な情報をもっているわけではなく, このような調査やセミナーを通して議論をまとめていくことが重要であることである。 本書はパーティクル汚染, 金属汚染, 化学汚染に分け, 調査結果からいくつかの質問をその分野の専門家に投げかけ, 解答となる論文などを掲載した。元来, 供給側の技術者にLSI製造の実態を理解してもらうために作成した書籍であるが, デバイスメーカも他の技術者の考えを理解することが重要である。 本書は汚染に関する理解の共有化(一致化)の第一歩であり, 様々な意見を付加して少しづつ認識が一致することを望んでいる。LSI製造, プロセスに関わる多くの技術者に一読いただき, 多くの意見を集結でき, 経済的に優れた材料, 設備等が得られればこの上もない幸せである。
商品の情報
カテゴリー
本・音楽・ゲーム > 本 > 健康/医学
商品の状態
目立った傷や汚れなし
8450円ULSIにおける汚染の実態 本 初版 Realize リアライズ 理工センター本・音楽・ゲーム本健康/医学コンピュータで一流マシン製作! 3DプリンタとCADの始め方 交換無料

REALIZE Science & Engineering / ULSI製造における汚染の実態


Amazon.co.jp: ULSI製造における汚染の実態 : 池野 昌彦, 槌谷 孝裕


ULSI製造における汚染の実態 - 池野 昌彦, 槌谷 孝裕, 平野 義文, 浅野


ULSIにおける汚染の実態 本 初版 Realize リアライズ 理工センター


激安大特価！】 【裁断済み】カンデル神経科学 第二版 健康/医学


高価値 即購入OK【希少本】ナノスケールサーボ制御 高速・高精度に位置


大きな取引 値下げしました→民間治療全集 復刻版 第四版 疾病強健術熱


ULSIにおける汚染の実態 本 初版 Realize リアライズ 理工センター


裁断済み】ビジュアル歯内療法学 生物学的コンセプトとテクニックの


クレアール 社労士 2023/2024年 最新テキスト 問題集 フルセット お得


超可爱の 最新透析医療：先端技術との融合 健康/医学


かわいい新作 AO法 骨折治療 第3版 【裁断済み】 健康/医学 - elroble


ryan McGinley ライアン・マッギンリー 専門店では 51.0%OFF www


在庫処分】 乳腺外科の要点と盲点 健康/医学 - celticsteps.org


胃と腸 2019増刊号 消化管疾患の分類 裁断済み 人気アイテム


最新情報 【ちょびーだ様専用】プライアンス推進機構 公式問題集2 健康


鉄緑会2023 入試生物確認シリーズ 新品未使用 【在庫一掃】 52.0%OFF


コンピュータで一流マシン製作! 3DプリンタとCADの始め方 交換無料


大人も着やすいシンプルファッション リンパ腫アトラス 第5版 健康


を豊富に品揃え 道観 VOL30〜 本・音楽・ゲーム | bca.edu.gr


世界的に有名な 堀口捨己の「日本」 空間構成による美の世界 健康/医学


円高還元 裁断済 日常診療に活かす診療ガイドラインup-to-date2022


格安人気 カッツング薬理学 健康/医学 - brightontwp.org


おすすめネット 写真集 沖縄戦 健康/医学 - vsis.lk


U-CAN登録販売者合格指導講座テキスト 【希望者のみラッピング無料


女の子向けプレゼント集結 小児の発疹の診かた 小児内科第42巻1号増大


マンモグラフィ診断の進め方とポイント第5版【裁断済】 年末の


激安/新作 中医「火神派」の入門書 『医法圓通編註』 健康/医学


あなたにおすすめの商品 脳の機能解剖と画像診断 健康/医学 - reumatek.com


Modern Fluoroorganic Chemistry あなたのお気に入り見つけよう 9310円


正規逆輸入品】 クエスチョン・バンク vol.1 2022 医師国家試験問題


看護診断・計画ガイド 実習でよく挙げる 高価値セリー 36.0%割引


洋書 英語 /化学産業における第8回労働衛生国際会議の議事録


人気メーカー・ブランド ヴィソルカス教授のサイエンス・オブ


潮騒 齋藤飛鳥直筆サイン 特売 8640円引き www.coopetarrazu.com


内科学 第9版 分冊版 ☆お求めやすく価格改定☆ tvcenario.com


笹原 敬史 安全弁の技術 最高の品質 9180円 www.mairiedesare.fr


細胞の分子生物学セット(邦訳:裁断済/原著/The problems book) www


良好品】 イミディエート インプラントロジー 健康/医学 - celticsteps.org


国内外の人気が集結 ☆未使用☆診療情報管理士教育問題集 3冊セット